古蹟文物原貌基礎之三維資料建檔及古建物維護、文物修復相關逆向工程，在前置作業上提供精確的資訊並節省可觀的時間與資源，更避免傳統測量上測繪人員對古蹟文物所可能造成的破壞。藉此建立的資料檔案可透過開放的使用介面輸出至Auto CAD、MicroStation等軟體，使得文化資產得以進行更為廣泛的應用，期盼藉此使文化資產維護與科技發展銜接。
原理在於利用雷射光束的投影與反射，經掃描機本體投射光束後，由介值傳遞至被量測目標物，並自行反射而回，藉往返的時間差計算求得兩者之距離，由雷射光束投射角度求得空間座標值，最後以點雲形式呈現，且經後端處理，可達到數位紀錄典藏與進階使用的功能。
微觀量測亦將試驗試體表面層上的變化利用各項微觀儀器來量測，以達到試驗試體前後的表面層微觀比對測試，經過比對測試亦可了解該試體的表面層變化。
